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真空泵的机械发展及其工作范围和定律

浏览次数:2987发布日期:2015-03-11
 
  真空泵这种机械在其发展起初结构已经开始定在那里了,我们现在所见到的真空泵产品大多结构和以前都有所类似,从机械历史文化的角度发展来看真空泵在当前已经发展成一种比较成熟的产品了,中可以用来在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽,大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求,由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽,因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围,只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求,使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要,有时将各种真空泵按其性能要求组合起来,以机组型式应用。
 
真空泵的工作范围
 
泵种类
 
油封机械泵
 
水蒸汽喷射泵
 
罗茨泵
 
油增压泵
 
油扩散泵
 
zui佳工作范围(Pa)
 
105~10
 
105~102
 
102~1
 
1~10-1
 
5×10-2~10-4

 



真空泵
定律及公式

  1、罗茨泵的前级抽速:   2、粗抽泵的抽速选择:
S=(0.1~0.2)S
 
S=Q1/P 
S=2.3Kq·V·lg(Pa/P)/t
 S -机械泵有效抽速(升/秒)  S -罗茨泵有效抽速(升/秒)
 Q1 -真空系统漏气率(托·升/秒)  P -需要达到的预真空度(托)
 V -真空系统容积(升)  t -达到P预时所需要的时间
 Pa -大气压值(托)  Kq -修正系数与设备终值时压强P有关
     
 
 
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